高精度檢測機
產(chǎn)品描述
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主要參數(shù) |
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UPH |
誤判率 |
漏判率 |
設(shè)備重復(fù)性 |
多功位檢測 |
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800pcs （根據(jù)產(chǎn)品） |
≤3% |
0.1% |
99.5% |
通用性強 |
優(yōu)勢特點
外形尺寸，劃傷、白點、黑點、臟污、壓傷等檢測
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未找到相應(yīng)參數(shù)組，請于后臺屬性模板中添加
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晶圓全自動磨邊+邊拋機